Anlagen

Technologieangebote

Das Helmholtz Innovation Lab FlexiSens hat folgende Technologieangebote:

  • flexible und druckbare Magnetfeldsensoren
  • magnetosensitives Pulver
  • magnetosensitive Paste
  • großflächige optische Lithographien und Abscheidungen
  • strukturelle und magnetische Charakterisierung
  • kundenspezifisches Sensordesign
  • Kooperations- und Forschungsprojekte

Weitere Informationen finden Sie in unserem Flyer.

Anlagen

  • 3 Magnetron-Sputter-Systeme
  • Abscheidung bei bis zu 950 °C
  • Probengröße bis 300 mm Wafer
  • magnetische, oxidische Dünnschichten mit einer Dicke von 1 nm bis zu 1 μm
  • Mono- und Multilagen-Schichtsysteme mit sub-nm Genauigkeit
  • Auflösung bis zu 2 μm
  • 405 nm Laser
  • Proben bis zu 25 cm x 25 cm
  • Wedge-Wedge mit 17 μm Al Draht
  • Ball-Wedge mit 25 μm Gold Draht
  • Transducer Frequenz bis zu 140 kHz
  • starre und flexible Probensubstrate
  • nicht invasive Tröpfchendetektion in kleinen Röhrchen (Durchmesser von 500 μm und kleiner)
  • Überwachung der Tröpfchen, schnelles Screening verschiedener Substanzen
  • optische, magnetische und Impedanz Detektion von verschieden Analyse
  • Auflösung < 14 nm
  • Proben bis zu 10 cm x 10 cm
  • senkrechte Messunsicherheit 1 – 10 nm
  • 3D Oberflächenmorphologie