Technologie / Produkte

Das Helmholtz Innovation Lab FlexiSens konzentriert sich zum einen auf die Entwicklung und Anwendung eines flexiblen und druckbaren Magnetfeldsensors (Hall-Effekt und magnetoresistive Effekte). Neuartige Hochleistungs-Magnetfeldsensoren auf ultradünnen flexiblen Substraten wurden entwickelt, die eine hohe mechanische Anpassungsfähigkeit besitzen. Zum anderen beschäftigt sich FlexiSens mit kontaktlosen magnetoelektrischen Messungen in milli- und mikrofluidischen Kontext, sowie mit der Erforschung mikro- und millifluidischer Konnektoren und funktionalen fluidischen Geometrien.

Magnetfeldsensoren

Flexible und gedruckte Sensoren können aufgrund ihrer extrem dünnen und unkonventionellen mechanischen Eigenschaften nicht nur auf verschiedene flache, sondern auch gekrümmte Objekte angewendet werden. Unsere Technologie ermöglicht neue Anwendungsfelder von Magnetfeldsensoren und die Realisierung gedruckter Magnetfeldsensoren.

Flexible Magnetfeldsensoren

  • Flexible Sensoren sind auf polymeren Substraten (Dicke von 1 μm bis 100 μm)
  • Sensoren können auf einem Fläche von bis zu 12 Zoll Wafer verarbeitet werden
  • Kundenspezifischer Sensorlayout
  • Sensoren mechanisch biegbar bis zu 1 mm Biegeradien
  • Stabile elektrische Eigenschaften bei
    mechanischen Verformungen

Magnetosensitives Pulver für druckbare Magnetfeldsensoren

  • Unterschiedliche starre und flexible Sensoren-Substrate (Papier, Keramik, Silizium, Textil, Polymere)
  • Substratdicke ab 6 μm
  • Einstellbare Sensorempfindlichkeit gegenüber Magnetfeldern im Bereich von  0,5 mT bis 200 mT
  • Sensorstabilität bei Temperaturen bis 90°C
  • Sensoren mechanisch biegbar bis zu 1 mm Biegeradien

Fluidik

Unsere magnetoelektrische Messlösung erlaubt eine kontaktlose Messung von Flüssigkeiten in Schlauchsystemen. Dabei können nicht nur unterschiedliche Flüssigkeiten, sondern zudem deren Eigenschaften (wie pH-Werte oder ionische Konzentrationen) erfasst werden. Unsere funktionalen fluidischen Konnektoren werden im 3D-Druck hergestellt und erlauben hohe Flexibilität in Kanalanordnungen und Kanalgrößen.

Fluidische magnetoelektrische Plattform

  • Detektion und Charakterisierung von Flüssigkeit(-sgemischen) in Schläuchen
  • Sterile und berührungslose Messungen im kontinuierlichem oder segmentiertem Fluss
  • Kontaktlose Messung von Flüssigkeiten ohne Zugabe von Sekundärstoffen, unabhängig von kritischen Flüssigkeitseigenschaften (pH-Werte, oxidative Eigenschaften)

Funktionale fluidische Konnektoren

  • Transparente, funktionale Konnektoren für mikro- und millifluidische Anwendungen
  • Hohe Gestaltungsmöglichkeiten der Kanalanordnungen und -dimensionen (bis 500µm), Länge und Form der Kanäle, sowie Einbringung von Gewinden und Aussparungen
  • Wahl unterschiedlicher Materialeigenschaften (Transparenz, Biokompabilität, mechanische/thermische Belastbarkeit, …)

Technologieangebot

Das Helmholtz Innovation Lab FlexiSens hat folgende Technologieangebote:

  • Flexible und druckbare Magnetfeldsensoren
  • Magnetosensitives Pulver
  • Großflächige optische Lithographie und Abscheidungen
  • Strukturelle und magnetische Charakterisierung
  • Kundenspezifischer Sensordesign
  • Kooperation, Forschungs- und Validierungsprojekte

Senden Sie Ihre Anfragen an: info@flexisens.de

Anlagen

Beschichtungsanlage

  • 3 Magnetron Sputtern Anlagen
  • Abscheidung bei bis zu 950 degC
  • Probengröße bis 300 mm Wafer
  • Magnetische, oxidische Dünnschichten mit einer Dicke von 1 nm bis zu 1 µm
  • Mono- und Multilagen – Schichtsysteme mit sub-nm Genauigkeit

Drahtbonder

  • Wedge-wedge mit 17 µm Al Draht
  • Ball-wedge mit 25 µm Gold Draht
  • Transducer Frequenz bis zu 140 kHz
  • Starre und flexible Probensubstrate
  • manuelles und semi-automatisches Bondprozess mit Deformationskontroll 

Milli-und Mikrofluidisches Setup

  • Nicht invasive Tröpfchendetektion in kleinen Röhrchen (Durchmesser von 500 μm und kleiner)
  • Überwachung der Tröpfchen, schnelles Screening verschiedener Substanzen
  • Optische, magnetische und Impedanz Detektion von verschieden Analyte

Weitfeld-Konfokalmikroskop

  • Senkrechte Messunsicherheit : 1-10 nm
  • 3D Oberflächenmorphologie

Rasterelektronenmikroskop

  • Auflösung <14 nm
  • Proben bis zu 10 cm x 10 cm

Direct Laser Writer

  • Bis zu 2 µm Auflösung
  • 405 nm Laser
  • Proben bis zu 25cm x 25cm